专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
长江存储科技有限责任公司
>
晶圆键合方法及键合晶圆技术
>技术资料下载
下载晶圆键合方法及键合晶圆的技术资料
文档序号:27980409
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本公开实施例公开了一种晶圆键合方法及键合晶圆,所述方法包括:在第一衬底的表面的第一绝缘层,形成第一导电柱;形成覆盖第一导电柱的导电的第一连接层;其中,第一连接层的晶粒尺寸小于第一导电柱的晶粒尺寸;在第二衬底的表面的第二绝缘层中,形成第二导电...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。