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本发明公开了一种用于光刻机的晶圆载台，包括晶圆载台本体，晶圆载台本体的底部固定连接有承载柱，晶圆载台本体的外侧固定连接有三个支撑板，支撑板的一侧固定连接有限位柱，晶圆载台本体的顶部设置有晶圆，晶圆的正下方设置有光学传感器，光学传感器的设置范...
该专利属于北京新毅东科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京新毅东科技有限公司授权不得商用。

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