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学习装置、检查装置、学习方法以及检查方法制造方法及图纸
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文档序号:27978644
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本发明提供一种学习装置、检查装置、学习方法以及检查方法,可减少学习用数据集容量,并实现高精度的基板检查。在学习装置中,第二输入部输入根据真缺陷的有无对第一数据中的假定缺陷图像进行了再分类的第二数据。学习部在第二数据中进行对于假定缺陷图像的加...
该专利属于株式会社斯库林集团所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社斯库林集团授权不得商用。
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