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本发明提供一种半导体专用温控设备与负载装置联动控制系统及方法，所述系统包括负载可编程逻辑控制器、负载人机界面、负载装置、温控可编程逻辑控制器、温控人机界面和温控设备；负载装置由加热器、流量检测开关、温度保护开关、接触器和固态继电器组成；温控...
该专利属于北京京仪自动化装备技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京京仪自动化装备技术有限公司授权不得商用。

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