下载一种用于5G环形器的芯片平整度检测装置及其检测方法的技术资料

文档序号:27971942

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本发明提供一种用于5G环形器的芯片平整度检测装置,测试台面上用于放置设置于5G环形器内部的电路板;摄像机阵列包括多个并列设置于测试台面上方的摄像机,摄像机用于同步采集电路板的局部图像;DLP投影仪设置于测试台面上方并且朝向电路板投射图案并确...
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