【技术实现步骤摘要】
一种用于5G环形器的芯片平整度检测装置及其检测方法
本专利技术属于环形器
，具体涉及一种用于5G环形器的芯片平整度检测装置及其检测方法。
技术介绍
我国第五代移动通信系统(简称“5G系统”)频率使用规划取得重大进展。规划明确了3300-3400MHz(原则上限室内使用)、3400-3600MHz和4800-5000MHz频段作为5G系统的工作频段；规定5G系统使用上述工作频段，不得对同频段或邻频段内依法开展的射电天文业务及其他无线电业务产生有害干扰；同时规定，自发布之日起，不再受理和审批新申请3400-4200Mz和4800-5000MHz频段内的地面固定业务频率、3400-3700MHz频段内的空间无线电台业务频率和3400-3600MHz频段内的空间无线电台测控频率的使用许可。面向5G时代，我国通信各界紧锣密鼓的筹备已然开始：从标准的讨论制定，到产品研发和部署，再到设备性能功能的测试，一切都为了5G腾飞。为响应5G时代，并根据目前产业现状，优译作为射频通信隔离器、环行器制造厂商，现给大家推出5G相关隔离器，环行器系...
【技术保护点】
1.一种用于5G环形器的芯片平整度检测装置，其特征在于，包括摄像机阵列、DLP投影仪、视觉系统和测试台面；/n所述测试台面上用于放置设置于5G环形器内部的电路板；所述摄像机阵列包括多个并列设置于测试台面上方的摄像机，所述摄像机用于同步采集电路板的局部图像；所述DLP投影仪设置于测试台面上方并且朝向电路板投射图案并确保投影光范围覆盖摄像机阵列的采集范围；所述投射图案为多条平行的光条纹，线性结构光束以扇形平面的形式在芯片表面传播，切断芯片表面形成光条纹，然后由摄像机阵列捕捉并成像，从而获得电路板上芯片表面的三维坐标；所述视觉系统通过将局部图像拼接后得到电路板的完整图像，通过自适...
【技术特征摘要】
1.一种用于5G环形器的芯片平整度检测装置，其特征在于，包括摄像机阵列、DLP投影仪、视觉系统和测试台面；
所述测试台面上用于放置设置于5G环形器内部的电路板；所述摄像机阵列包括多个并列设置于测试台面上方的摄像机，所述摄像机用于同步采集电路板的局部图像；所述DLP投影仪设置于测试台面上方并且朝向电路板投射图案并确保投影光范围覆盖摄像机阵列的采集范围；所述投射图案为多条平行的光条纹，线性结构光束以扇形平面的形式在芯片表面传播，切断芯片表面形成光条纹，然后由摄像机阵列捕捉并成像，从而获得电路板上芯片表面的三维坐标；所述视觉系统通过将局部图像拼接后得到电路板的完整图像，通过自适应方向算子用于形态学滤波，消除芯片表面的字母噪声，利用灰度重力法提取条纹中心线，代入标定的光平面方程和摄像机空间坐标系中，采用NLS算法计算芯片表面的平整度缺陷。
2.根据权利要求1所述的一种用于5G环形器的芯片平整度检测装置，其特征在于，所述测试台面上设置有对齐装置，所述对齐装置包括设置于测试台面中部的真空吸盘，所述真空吸盘四周分别设置有推板。
3.根据权利要求1所述的一种用于5G环形器的芯片平整度检测装置，其特征在于，所述摄像机的参数为分辨率2000*1600、配置25mm光学聚焦镜头以及帧速率为6帧每秒。
4.根据权利要求1所述的一种用于5G环形器的芯片平整度检测装置，其特征在于，所述DLP投影仪的参数为焦距8.02mm、分辨率1280×800、流明800以及刷新率60hz。
5.根据权利要求1所述的一种用于5G环形器的芯片平整度检测装置，其特征在于，所述多线结构光测量包括芯片表面发生变形从而使得光条纹发生相应的变形：
公式中,s为比例系数，和分别是测量点的齐次坐标，A为摄像机的参数，R和t分别为世界坐标到摄像机空间坐标的旋转矩阵和平移向量，N是光条纹的数量，aj、bj、cj、dj为光平面方程的四个系数，将标定后的光平面方程下，将光条纹中任何一个测量点Pi转换为摄像机阵列的坐标系，带入光平面方程，计算出Pi的三维坐标。
6.根据权利要求1所述的一种用于5G环形器的芯片平整度检测装置，其特征在于，所述光平面方程的标定包括：
采用标定板，利用标定的内外参数矩阵，可以在摄像机空间坐标系中获得标定板上任意点的三维坐标：
其中i是校准板的位置，n是校准板上点的序列号，a，b，c，d是平面系数。
7.一种用于5G环形器的芯片平整度检测装置的检测方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1、图像拼接：根据相邻摄像机的视场重叠图像和标定后的透视投影变换矩阵，可以实现电路板的局部...
【专利技术属性】
技术研发人员：李防震，钱坤，曹祥洁，周玉丹，孙海翔，陶园，陈坚坚，
申请(专利权)人：江苏天艾美自动化科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。