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本实用新型公开一种研磨垫结构，包含一下层、一上层，其一面为研磨面，另一面与该下层相接、一开口穿过该下层与该上层、以及一弹性光学窗，与该上层相接并盖住整个该开口，其中该弹性光学窗的一表面呈曲面型态从该研磨面向外凸出。...
该专利属于联芯集成电路制造(厦门)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过联芯集成电路制造(厦门)有限公司授权不得商用。

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