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本新型涉及一种紫外标记晶圆切割高精度引导定位装置，包括承载机架、检测筒、紫外线检测灯、三维转台、CCD摄像头、投影玻片、透镜组及驱动电路，承载机架为柱状框架结构，承载机架下端面设定位腔，检测筒嵌于定位腔内，其前端面与投影玻片连接，CCD摄像...
该专利属于河南通用智能装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过河南通用智能装备有限公司授权不得商用。

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