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一种新型硅晶圆激光切割加持用夹具结构制造技术
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文档序号:27967443
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本新型涉及一种新型硅晶圆激光切割加持用夹具结构,包括承载基座、定位槽、驱动滑轨、导向柱、滑块、转台机构、电动卡爪及驱动电路,载基座上端面设一条驱动滑轨,驱动滑轨与一个滑块滑动连接,滑块前端面与导向柱后端面连接,导向柱前端面与定位槽外侧面铰接...
该专利属于河南通用智能装备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过河南通用智能装备有限公司授权不得商用。
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