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单晶培养装置制造方法及图纸
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下载单晶培养装置的技术资料
文档序号:27967090
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课题在于提供可降低单晶的温度梯度的同时防止杂质混入导致的单晶的成品率的急剧变差的单晶培养装置。本发明的单晶培养装置90通过提拉法由坩埚1内的原料的熔融液12培养单晶13,其具备:覆盖坩埚1的上方的空间16的上部耐火材料容器10b、覆盖上部耐...
该专利属于信越化学工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过信越化学工业株式会社授权不得商用。
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