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本发明公开了一种用于晶圆封装领域的化学镀钯溶液及其制备方法,以质量浓度为单位,包括以下浓度的组分:硫酸四氨钯25‑30g/L;络合剂30‑60g/L;苹果酸5‑10g/L;多氨基多醚基甲叉膦酸5‑15g/L;糖精5‑9g/L;还原剂2‑55...该专利属于江苏矽智半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏矽智半导体科技有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种用于晶圆封装领域的化学镀钯溶液及其制备方法,以质量浓度为单位,包括以下浓度的组分:硫酸四氨钯25‑30g/L;络合剂30‑60g/L;苹果酸5‑10g/L;多氨基多醚基甲叉膦酸5‑15g/L;糖精5‑9g/L;还原剂2‑55...