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本发明提供基于等离子体增强辅助技术制备TOPCon电池的设备及工艺，包括炉门与炉体，所述炉门的右侧安装有第一法兰，且第一法兰的右侧设置有第一固定板，该第一固定板的上端开设有第一冷却水出口，所述炉体的内部填充有石英管，且该炉体的左下角分别开设...
该专利属于无锡琨圣智能装备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡琨圣智能装备股份有限公司授权不得商用。

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