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本发明公开了一种真空蒸镀用基片降温装置及其使用方法，一种真空蒸镀用基片降温装置，包括水冷基板以及开设在水冷基板上的进水口和出水口，还包括设置在水冷基板上方的电磁控制装置，以及吸附于水冷基板下表面的磁性材料，初始状态下，磁性材料设置在水冷基板...该专利属于华能新能源股份有限公司;中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华能新能源股份有限公司;中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司授权不得商用。