下载适用于半球谐振子的一次成膜无遮挡镀膜夹具的技术资料

文档序号:27966933

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本发明提供了一种适用于半球谐振子的一次成膜无遮挡镀膜夹具,包括:顶针、卡头、弹性件和拉杆,谐振子的中心轴的一端与卡头座相接触,卡头座与卡头连接,谐振子中心轴的另一端固定在顶针上;弹性件套设于拉杆上;顶针和拉杆形成拉杆顶针,拉杆顶针的压力由弹...
该专利属于上海航天控制技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过上海航天控制技术研究所授权不得商用。

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