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一种基于磁控溅射的可见红外窗口减反射膜及制备方法技术
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下载一种基于磁控溅射的可见红外窗口减反射膜及制备方法的技术资料
文档序号:27966916
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本发明公开一种基于磁控溅射的可见红外窗口减反射膜及制备方法,属于光学薄膜技术领域。主要是用磁控溅射镀制方法,摒弃常规高效减反膜使用硬度低的氟化镱、硫化锌等软膜材料,而是使用氧化钇、氧化钛、氧化铝等硬质氧化物保护膜,经过设计优化形成能用于硫化...
该专利属于江苏北方湖光光电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏北方湖光光电有限公司授权不得商用。
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