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本发明涉及一种一般电阻硅产品的蚀刻液，由氟化氢铵、硝酸钾、硫酸、过硫酸铵、聚乙二醇、磷酸和丙二醇嵌段聚醚水溶液组成。根据一般电阻硅产品的特性，改善传统以高浓度、高腐蚀性的氢氟酸和硝酸、醋酸、水配制的蚀刻液，利用氟化氢铵和硫酸适量配比时可以按...
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