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本发明公开了显影浓度控制系统的脱气装置、方法及显影浓度控制系统,其中,脱气装置包括脱气模块、联动阀门、隔膜真空泵,脱气模块通过管道连接采样泵,接收采样泵传输的显影液样本,脱气模块连接显影液浓度监测模块并将脱气处理后的显影液传输给显影液浓度监...该专利属于深圳市华星光电半导体显示技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市华星光电半导体显示技术有限公司授权不得商用。
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本发明公开了显影浓度控制系统的脱气装置、方法及显影浓度控制系统,其中,脱气装置包括脱气模块、联动阀门、隔膜真空泵,脱气模块通过管道连接采样泵,接收采样泵传输的显影液样本,脱气模块连接显影液浓度监测模块并将脱气处理后的显影液传输给显影液浓度监...