下载一种晶圆贴片加工夹具的技术资料

文档序号:27949105

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本实用新型提供了一种晶圆贴片加工夹具,属于晶圆贴片加工技术领域。该晶圆贴片加工夹具包括架体组件、夹持机构和取料机构。所述架体组件包括底座和支架,所述支架固定在所述底座表面,所述夹持机构包括卡盘和压板,所述卡盘安装在所述底座表面,所述压板位于...
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