下载一种晶片吹沙机构的技术资料

文档序号:27949072

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本实用新型涉及半导体晶片技术领域,具体为一种晶片吹沙机构,其能够方便实现吹沙操作,省去人力劳动,提高效率,其包括工作台和吹沙机,其特征在于,所述吹沙机旁设置有取片机器人,所述取片机器人上安装有两个柔性爪,所述柔性爪外表面为硅胶层,所述柔性爪...
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