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夹具以及半导体装置的制造方法制造方法及图纸
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文档序号:27948291
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得到即使作为接合半导体元件等部件的对象的板状构件弯曲,也能够抑制部件相对于板状构件的位置偏离的夹具以及半导体装置的制造方法。夹具(1)为用于半导体元件的定位的夹具(1),具备基部(4)和定位部(3)。基部(4)具有第1面(4c)和与该第1面...
该专利属于三菱电机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三菱电机株式会社授权不得商用。
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