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本发明涉及一种用于半导体制造设备的防泵返流结构，包括检测传感器、隔离空气供给配管以及控制部件，相比于通过半导体制造设备的设备控制部形成的隔离阀的阻断方式，可以相对减少从泵实际发生非正常运转的瞬间到隔离阀的阻断瞬间为止的时间延迟，具有能够杜绝...
该专利属于金泰和所有，仅供学习研究参考，未经过金泰和授权不得商用。

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