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一种用于衬底的湿式处理的蒸气输送头包括主体，该主体包括上表面、下表面、上充气室和下充气室。第一孔布置在所述主体的所述上表面上，并且与所述上充气室流体连接，以供应经加热的流体。第二孔布置在所述主体的所述上表面上，并且连接至所述上充气室，以移除...
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