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本实用新型属于半导体制造技术领域，尤其是一种气体压力调节装置，包括沉积炉，所述沉积炉的顶部固定安装有出气管，出气管的顶部固定安装有安装箱，所述出气管内活动安装有活动杆，活动杆的一端固定套接有位于出气管内的且与出气管相适配的活塞，活塞为锥形设...
该专利属于湖州新奥利吸附材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖州新奥利吸附材料有限公司授权不得商用。

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