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本发明的例示性的实施方式的温度调节方法包括：第1步骤，其调节载置被处理体的载置台的温度，载置台被划分为多个区域，具有多个温度检测器，多个区域沿载置台的载置面设定，多个温度检测器的每个温度检测器分别配置在多个区域的每个区域，载置台具有进行利用...
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