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本揭露的各种实施例涉及一种半导体器件结构,所述半导体器件结构包括上覆在结合垫上的凸块结构。结合垫设置在半导体衬底之上。刻蚀停止层上覆在结合垫上。缓冲层设置在结合垫之上且将刻蚀停止层与结合垫隔开。凸块结构包括基部部分及上部部分,基部部分接触结...该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。
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本揭露的各种实施例涉及一种半导体器件结构,所述半导体器件结构包括上覆在结合垫上的凸块结构。结合垫设置在半导体衬底之上。刻蚀停止层上覆在结合垫上。缓冲层设置在结合垫之上且将刻蚀停止层与结合垫隔开。凸块结构包括基部部分及上部部分,基部部分接触结...