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本发明提供一种晶圆清洗、干燥设备及其使用方法，用于解决现有技术中晶圆表面污染物的清洗和干燥时不彻底且效率不高的问题。包括主体机构、清洗机构和干燥机构，第一驱动组件驱动第一转轴转动，相邻两个第一支架通过第一转动杆连接且相邻两个第一转动杆能够的...
该专利属于陈莹所有，仅供学习研究参考，未经过陈莹授权不得商用。

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