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本发明公开了一种真空蒸镀用基片辅助降温装置，包括设置在水冷基板和电池基片之间的降温系统，所述降温系统包括密闭设置的气囊和填充在气囊内部的可流动散热介质，所述降温系统与水冷基板的底面和电池基片贴合，在水冷降温的基础上，于降温组件和电池基片之间...该专利属于华能新能源股份有限公司;中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华能新能源股份有限公司;中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司授权不得商用。