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本发明提供一种用于支撑衬底的支撑单元。支撑单元可包括：具有内部空间的支撑板；加热构件，其布置在内部空间中并发射用于加热由支撑单元支撑的衬底的光；以及反射构件，其设置在支撑板的边缘区域处并且将光所具有的热能反射到由支撑单元支撑的衬底的边缘区域...
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