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本实用新型公开了常温双腔型气相沉积反应室，包括反应室主体，所述反应室主体的内端中心设有密封板，所述密封板的内端伸缩连接有调节装置，所述密封板的顶端位置固定连接有顶盖，所述调节装置包括调控部件、电动机、第一腔室、底板、套轴架、螺纹杆和第二腔室...
该专利属于苏州派华纳米科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州派华纳米科技有限公司授权不得商用。

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