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本发明提出了一种曝光系统的控制方法和曝光系统，该方法包括：获取曝光系统的感光材料的曝光剂量输入值，其中，曝光剂量输入值小于曝光剂量阈值；根据曝光剂量输入值控制激光器的输出功率；根据曝光剂量输入值确定运动平台的扫描步长；根据扫描步长控制空间光...
该专利属于合肥芯碁微电子装备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥芯碁微电子装备股份有限公司授权不得商用。

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