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本公开提供一种投影光学系统、扫描曝光装置以及物品制造方法。投影光学系统是使来自物面处的光轴外的圆弧状良像范围的光束依次经由第1折射光学系统、凹反射面、凸反射面、所述凹反射面、第2折射光学系统而成像于像面处的圆弧状良像范围的等倍的光学系统。所...
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