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本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及制冷系统及温控系统，制冷系统包括冷却装置和循环液装置，所述冷却装置包括压缩机、冷凝器、蒸发器和第一热交换器，所述压缩机的出口、所述冷凝器的放热通路、所述第一热交换器的吸热通路、所述蒸发器的放热通路、所述...
该专利属于北京京仪自动化装备技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京京仪自动化装备技术有限公司授权不得商用。

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