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本发明公开了一种大尺寸坩埚烘烤装置及烘烤方法，涉及化合物半导体单晶生长技术领域。本发明的一种大尺寸坩埚烘烤装置及烘烤方法，烘烤装置包括三通管、盖板、小孔径连接板、大孔径连接板和卡具，所述大孔径连接板设置于盖板和三通管之间，所述小孔径连接板设...
该专利属于威科赛乐微电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过威科赛乐微电子股份有限公司授权不得商用。

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