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本发明涉及一种阴极模组及真空镀膜装置，阴极模组包括阴极单元、固定板、至少一个第一加热单元以及多个第一绝缘垫，其中：第一加热单元和阴极单元分别固定在固定板相对的两侧，且阴极单元和固定板之间设置有所述第一绝缘垫，第一加热单元加热阴极单元，使得反...
该专利属于苏州迈正科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州迈正科技有限公司授权不得商用。

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