下载一种控挡片清洗液及清洗方法的技术资料

文档序号:27925207

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本发明属于集成电路电子化学品领域,具体涉及一种控挡片清洗液及使用方法。所述控挡片清洗液主要成分包含氟化物、剥离剂、浸润剂、有机溶剂及水;氟化物含量10~30wt%、剥离剂含量0.1~1wt%、浸润剂含量0.1~1wt%、有机溶剂含量25~3...
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