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含双鎓盐结构的光致产酸剂、制备方法及光刻胶组合物技术
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下载含双鎓盐结构的光致产酸剂、制备方法及光刻胶组合物的技术资料
文档序号:27924136
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本发明公开了一种含双鎓盐结构的光致产酸剂,其结构通式如下(I)所示:...
该专利属于宁波南大光电材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宁波南大光电材料有限公司授权不得商用。
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