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本发明公开了一种晶圆加工用湿法清洗设备，其结构设有撑台、液接箱、操控台、清洗箱、量调杆、清洗装置，液体冲压转球，液体冲流力与外接板的产生相互作用力，对液体有一定的缓冲作用，在外接板的作用下，液体容易被击拍而产生分股，而使液体顺着导块向散流腔...
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