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本实用新型公开一种MEMS芯片、麦克风和电子设备，该MEMS芯片的电容系统包括：第一振膜，所述第一振膜覆盖所述背腔设置；和第一背极，所述第一背极与所述第一振膜间隔设置，并形成第一振动间隙；以及支撑件，所述支撑件位于所述第一振动间隙内，所述支...
该专利属于歌尔微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过歌尔微电子有限公司授权不得商用。

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