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振膜、电容式传感器以及麦克风制造技术
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下载振膜、电容式传感器以及麦克风的技术资料
文档序号:27909358
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本实用新型公开一种振膜、电容式传感器以及麦克风。其中,该振膜包括振膜主体、泄气结构以及加厚部;振膜主体上开设有泄气口;泄气结构包括设于泄气口的阀瓣和连接部,连接部连接阀瓣与振膜主体,阀瓣可相对于连接部翻转,以调节泄气口的开度;加厚部设置在连...
该专利属于歌尔微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过歌尔微电子有限公司授权不得商用。
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