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一种离子交换玻璃基掩埋型分段式模斑转换器,这种模斑转换器由n段(n≥2)玻璃基锥形波导芯片依次级联而成;每一段玻璃基锥形波导芯片均由玻璃基板(100)及其内部的掩埋型锥形离子掺杂区(101)构成;其中第n段玻璃基锥形波导芯片中的掩埋型锥形离...该专利属于浙江大学绍兴微电子研究中心;浙江大学;绍兴市科技创业投资有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学绍兴微电子研究中心;浙江大学;绍兴市科技创业投资有限公司授权不得商用。