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本实用新型公开了一种晶圆切割设备漏水自动检测报警系统,其包括:监测系统,其包含漏液感应条和在漏液感应条上安装的湿度传感器,所述漏液感应条安装在晶圆切割机的接水槽上,所述漏液感应条和湿度传感器可感应晶圆切割机接水槽底部上任一渗漏点的位置,一旦...该专利属于威海银创微电子技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过威海银创微电子技术有限公司授权不得商用。
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