【技术实现步骤摘要】
晶圆切割设备漏水自动检测报警系统
本技术涉及机械设备领域，具体涉及一种晶圆切割设备漏水自动检测报警系统。
技术介绍
目前，半导体行业多采用金属刀具切割，在切割晶圆时需要大量的水冷却刀具和晶圆，市面上大部分晶圆切割设备的电控部分会安装在切割水槽的下一层，切割水槽大部分由金属焊接而成，具有一定的漏水风险，并且漏水不易观察，很容易导致水流入下边造成电路故障，影响使用。为此开发出一种晶圆切割设备漏水自动检测报警系统具有重要意义。
技术实现思路
有鉴于此，本技术的目的在于提供一种晶圆切割设备漏水自动检测报警系统，其解决了现有晶圆切割设备漏水，人工难以检测发现，造成电控部分进水短路的技术问题。所采用的技术方案为：一种晶圆切割设备漏水自动检测报警系统,包括:监测系统，其包含漏液感应条和在漏液感应条上安装的湿度传感器，所述漏液感应条安装在晶圆切割机的接水槽上，所述漏液感应条和湿度传感器可感应晶圆切割机接水槽底部上任一渗漏点的位置，一旦检测到液体，所述湿度传感器发送出漏水信号；控制系统，...
【技术保护点】
1.一种晶圆切割设备漏水自动检测报警系统,其特征在于，包括:/n监测系统，其包含漏液感应条和在漏液感应条上安装的湿度传感器，所述漏液感应条安装在晶圆切割机的接水槽上，所述漏液感应条和湿度传感器可感应晶圆切割机接水槽底部上任一渗漏点的位置，一旦检测到液体，所述湿度传感器发送出漏水信号；/n控制系统，其包含电源和与电源电连接的控制器，所述控制器接收所述湿度传感器发送出的漏水信号；/n报警系统，控制器接收到漏水信号后控制所述报警系统报警。/n
【技术特征摘要】
1.一种晶圆切割设备漏水自动检测报警系统,其特征在于，包括:
监测系统，其包含漏液感应条和在漏液感应条上安装的湿度传感器，所述漏液感应条安装在晶圆切割机的接水槽上，所述漏液感应条和湿度传感器可感应晶圆切割机接水槽底部上任一渗漏点的位置，一旦检测到液体，所述湿度传感器发送出漏水信号；
控制系统，其包含电源和与电源电连接的控制器，所述控制器接收所述湿度传感器发送出的漏水信号；
报警系统，控制器接收到漏水信号后控制所述报警系统报警。
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【专利技术属性】
技术研发人员：于明涛，章圣武，杨洋，原宗庆，
申请(专利权)人：威海银创微电子技术有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37
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