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本实用新型公开了一种晶圆弯曲度检测装置，包括底座、承载平台和下侧伸缩杆，所述底座上方固定安装有承载平台，所述检测箱前侧面上开设有开口，检测箱顶面内侧安装有竖向滑动机构和横向滑动机构，所述竖向滑动机构和横向滑动机构分别与竖向扫描架和横向扫描架...
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