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本实用新型涉及一种微电子元器件高真空热板烘烤除气炉，包括机壳和设置在所述机壳内的加热箱体，所述加热箱体内设置有至少一层放置待烘烤元器件的加热板，所述加热板内埋设有加热管，所述除气炉还包括围设在所述加热箱体外的箱体水路，所述箱体水路内流通有对...
该专利属于上海微行炉业有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微行炉业有限公司授权不得商用。

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