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太赫兹装置和太赫兹装置的制造方法制造方法及图纸
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文档序号:27890888
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本发明提供一种太赫兹装置,其包括太赫兹元件、密封树脂、配线层和框状部件。上述太赫兹元件进行太赫兹波与电能量的转换。上述太赫兹元件具有在第1方向上分离的元件主面和元件背面。上述密封树脂覆盖上述太赫兹元件。上述配线层与上述太赫兹元件导通。上述框...
该专利属于罗姆股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过罗姆股份有限公司授权不得商用。
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