温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明尽可能减少从导光板漏出至观察手段侧的泄漏光来减少泄漏光带来的噪声分量并提高去往工件的照射光的一致性、提高检查精度。本发明的光照射装置具备：导光板，其呈平板状；以及光源体，其将光从该导光板的侧周面导入至导光板内部，并且，在所述导光板的一...
该专利属于CCS株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过CCS株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。