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本发明提供了一种压电式麦克风，包括具有背腔的基底，以及固定在所述基底上方的压电悬臂梁振膜；压电悬臂梁振膜至少包括第一子振膜和第二子振膜，每一子振膜一端与基底固定形成固定端，另一端悬置于背腔上方形成与固定端连接的活动端，活动端的宽度不小于固定...该专利属于瑞声新能源发展(常州)有限公司科教城分公司;瑞声科技(南京)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过瑞声新能源发展(常州)有限公司科教城分公司;瑞声科技(南京)有限公司授权不得商用。