一种压电式麦克风及其制作方法技术

本发明专利技术提供了一种压电式麦克风，包括具有背腔的基底，以及固定在所述基底上方的压电悬臂梁振膜；压电悬臂梁振膜至少包括第一子振膜和第二子振膜，每一子振膜一端与基底固定形成固定端，另一端悬置于背腔上方形成与固定端连接的活动端，活动端的宽度不小于固定端的宽度，压电式麦克风还包括弹性伸缩件，弹性伸缩件一端连接着第一子振膜的活动端，另一端连接着第二子振膜和/或基底上。本发明专利技术的悬臂梁活动端的宽度不小于固定端的宽度，在声压作用下将产生更大力矩，从而提高麦克风信噪比。

【技术实现步骤摘要】
一种压电式麦克风及其制作方法
本专利技术涉及一种压电式麦克风，尤其涉及一种振膜具有较大力矩的压电式麦克风。
技术介绍
麦克风种类繁多，包括动圈式、电容式、铝带式、碳精式等等，在移动应用中，又以又以驻极体(ECM)电容麦克风和微机电(MEMS)麦克风最为常见。微机电麦克风外形较小，与驻极体麦克风相比，具有更强的耐热、抗振和抗射频干扰性能。此外，微机电麦克风可以采用全自动贴片(SMT)生产工艺，而大多数驻极体麦克风则需要手工焊接。在微机电麦克风中，又分为电容式和压电式两种。压电式比电容式更新。压电技术的主要优势是坚固耐用，不受环境影响，而电容技术存在性能随时间下降的问题：在电容式麦克风中，如果在振膜和背板之间有颗粒物污染，麦克风的性能将会改变。压电麦克风的另一个优势是信噪比(SNR)更高，目前根据已知的方法，可以获得超过75dB的信噪比，理论上甚至可以超过80dB。但是现有结构压电麦克悬臂梁自由端的宽度小于固定端，声压作用下产生力矩较低，具有较低的信噪比，并且在残余应力下自由端翘曲，产生较大的缝隙，影响麦克风低频性能。...

【技术保护点】
1.一种压电式麦克风，其包括具有背腔的基底以及固定在所述基底上方的压电悬臂梁振膜；所述压电悬臂梁振膜至少包括第一子振膜和第二子振膜，每一所述子振膜一端与所述基底固定形成固定端，另一端悬置于所述背腔上方形成与固定端连接的活动端，其特征在于，所述活动端的宽度不小于固定端的宽度，所述压电式麦克风还包括弹性伸缩件，所述弹性伸缩件一端连接着所述第一子振膜的活动端，另一端连接着第二子振膜和/或基底上。/n

【技术特征摘要】
1.一种压电式麦克风，其包括具有背腔的基底以及固定在所述基底上方的压电悬臂梁振膜；所述压电悬臂梁振膜至少包括第一子振膜和第二子振膜，每一所述子振膜一端与所述基底固定形成固定端，另一端悬置于所述背腔上方形成与固定端连接的活动端，其特征在于，所述活动端的宽度不小于固定端的宽度，所述压电式麦克风还包括弹性伸缩件，所述弹性伸缩件一端连接着所述第一子振膜的活动端，另一端连接着第二子振膜和/或基底上。


2.根据权利要求1所述的压电式麦克风，其特征在于：
所述背腔呈正方形，连接所述第一子振膜和所述第二子振膜的所述弹性伸缩件位于所述正方形的中轴线，并且与所述第一子振膜和所述第二子振膜的固定端平行。


3.根据权利要求1所述的压电式麦克风，其特征在于：
所述背腔呈八边形，连接所述第一子振膜和所述第二子振膜的所述弹性伸缩端位于所述八边形的中轴线，并且与所述第一子振膜和所述第二子振膜的固定端平行。


4.根据权利要求1所述的压电式麦克风，其特征在于：
所述背腔呈六边形，连接所述第一子振膜和所述第二子振膜的所述弹性伸缩端位于所述六边形的中轴线，并且与所述第一子振膜和所述第二子振膜的固定端平行。


5.根据权利要求1所述的压电式麦克风，其特征在于：
所述背腔呈十字...

【专利技术属性】
技术研发人员：石正雨，童贝，
申请(专利权)人：瑞声新能源发展常州有限公司科教城分公司，瑞声科技南京有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32