下载发光二极管衬底的剥离方法及发光二极管阵列的技术资料

文档序号:27883822

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本发明提供一种发光二极管衬底的剥离方法及发光二极管阵列,剥离方法包括:提供衬底,在所述衬底生长牺牲层,在所述牺牲层的表面生长发光二极管器件;提供辅助基板;涂布键合胶至所述辅助基板的周边或者所述衬底的周边;于氮气腔室中,键合所述衬底和所述辅助...
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