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本发明的目的是提供半导体测试装置，其可同时测试多个半导体装置，即使一部分半导体装置发生问题，也能继续对其他元件特性良好的半导体装置进行测试。本发明所涉及的半导体测试装置将具有漏极电极(7a)(高电压端子)和源极电极(7c)(低电压端子)的半...
该专利属于三菱电机株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过三菱电机株式会社授权不得商用。

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